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渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上海伯東德國 Pfeiffer Hipace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實現成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環境下, 平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空室.
HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 (掃描電鏡 SEM) 和高端質譜行業量身定做的產品, 分子泵低振動和低磁場設計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設備里.
Pfeiffer Hipace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 舉例,主要技術參數如下:
型號 |
Hipace 300 |
Hipace 300 Plus |
|||||
允許環境磁場 |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 5.5 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
≤ 3 mT |
|
最大允許磁場 |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
5.5 mT |
|
噪音 |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
≤50 dB(A) |
|
安裝方式 |
任意位置安裝 |
垂直,法蘭向上 |
|||||
進氣口 |
DN 100 ISO-K |
DN 100 CF-F |
DN 100 ISO-F |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
|
極限真空度 |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
<1X10-7 hPa |
< 5X10-10 hPa |
< 1X10-7 hPa |
|
Ar 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
|
H2 抽速 |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
220 l/s |
|
He 抽速 |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
255 l/s |
|
N2 抽速 |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
260 l/s |
|
Ar 壓縮比 |
> 1X1011 |
||||||
H2 壓縮比 |
9X105 |
||||||
He 壓縮比 |
> 1X108 |
||||||
N2 壓縮比 |
> 1X1011 |
||||||
分子泵全速時 Ar 氣體流量 |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
7 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
2 hPa l/s |
|
分子泵全速時 He 氣體流量 |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
10 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
8 hPa l/s |
|
分子泵全速時 H2 氣體流量 |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
> 14 hPa l/s |
|
分子泵全速時 N2 氣體流量 |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
14 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
5 hPa l/s |
|
Ar 前級真空 |
25 hPa |
25 hPa |
25 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
|
H2 前級真空 |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
8,5 hPa |
|
He 前級真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
|
N2 前級真空 |
20 hPa |
20 hPa |
20 hPa |
15 hPa |
15 hPa |
15 hPa |