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干式真空泵 A4X 系列
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干式真空泵 A4X 系列

干式真空泵 A4X 系列
上海伯東德國 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列適合半導體、光伏等腐蝕性強的行業,干式真空泵抽速從 160 到 1,700 m3/h 滿足不同需求,特殊的耐腐蝕工藝設計保證干式真空泵 A4X 系列使用壽命大幅提高,有效降低了企業成本。

干式真空泵 A4X 系列核心優勢:
耐腐蝕設計,使用壽命長
通過 Semi S2-0712 和 UL 61010 標準
特殊設計,避免真空泵發生爆裂或可冷凝物沉積
配置氮氣吹掃閥,耐粉塵

干式真空泵 A4X 系列應用
半導體:(蝕刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
涂料行業:光伏和 LED

干式真空泵 A4X 系列技術參數:

型號

A 124 H

A 604 H

A 1204 H

A 204 H
A 204 X

A 804 H
A 804 X

A 1504 H
A 1504 X

A 1804 H
A 1804 X

抽速 m3/h

110

560

1150

160

700

1200

1700

極限真空
(氮氣吹掃閥關閉) hPa

2X10-2

2X10-4

9X10-4

5X10-2

2X10-3

2X10-3

2X10-3

極限真空
(氮氣吹掃閥50 SLM) hPa

5X10-2

6X10-3

6X10-3

2X10-1

9X10-3

9X10-3

9X10-3

全轉速最大進氣氣流 SLM

80

60

55

150

100

100

70

最大功率 KW

1.5

1.9

2.3

1.8

2.2

2.6

2.6

最大排氣壓力hPa

1200

1200

1200

1200

1200

1200

1200

進氣口 ISO-KF

DN 50

DN 100

DN 160

DN 50

DN 100

DN 160

DN 160

重量 kg

250

370

530

260

380

540

540

 

干式真空泵 A4X 系列抽速:
上海伯東干式真空泵 Adixen

上海伯東 Adixen 干式真空泵


 

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