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磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M
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磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M

上海伯東德國普發Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M,ATH 500 M:抽速范圍在300-800l/s的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵。HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。動平衡裝置會進行自動校準,Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵可以最小程度上減輕震動和工藝過程中產生的軸承位移。低能耗和極低的維護成本確保了其極高的性價比。

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800MATH 500 M產品優點
1.磁懸浮渦輪分子泵任意角度安裝
2.集成控制器
3.清潔無油
4.高氣體流量
5.低震動及低磁場干擾
6.磁懸浮渦輪分子泵動平衡自動補償
7.轉速范圍大
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800MATH 500 M技術參數

分子泵型號

分子泵連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

最高啟動壓強hPa

極限壓力

全轉速氣體流量hPa l/s

啟動時間

重量

進氣口

排氣口

氮氣
N2

氦氣He

氫氣 H2

氮氣
N2

氮氣N2

hPa

氮氣N2

min

kg

HiPace 300 M

100

16

255

215

170

> 1X1011

20

< 1X10–7

28

2

13.1 – 17.2

ATH 500 M

ATH 500 MT

160

25

550

390

190

> 2X107

2.6

< 1X10–8

67

2

17 – 18

HiPace 700 M

160

25

685

600

480

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

15.7 – 20.8

HiPace 800 M

200

25

790

625

500

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

17.1 – 21.5

Pfeiffer 分子泵

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