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分子泵 ITO 鍍膜生產線抽真空
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分子泵 ITO 鍍膜生產線抽真空

德國普發pfeiffer 分子泵在ITO鍍膜生產線上的應用
ITO (Indium Tin Oxide;銦錫氧化物)結晶具有體心立方鐵錳礦結構,是一種重摻雜、高簡并的寬禁帶型半導體材料,具有優良的導電性、可見光透過率以及紅外反射率,而且還具有高硬度、耐磨性、耐化學腐蝕特性。因此廣泛應用于平板顯示器(FPD)和太陽能電池。通常制備ITO薄膜的方法有溶膠凝膠法、磁控濺射法、脈總激光沉積和電子束蒸發等。

ITO 鍍膜過程必須在干凈清潔的真空系統中,上海伯東銷售的德國普發 pfeiffer Hipace 渦輪分子泵清潔無油,最大極限真空度可達10-11mbar,轉子速率可達90000rpm,廣泛應用于此行業。
德國普發 pfeiffer 渦輪分子泵優點:

  • pfeiffer 分子泵堅固耐用的設計,實踐驗證的軸承系統提供了產品的最高可靠性
  • pfeiffer 分子泵結構緊湊,占用空間小
  • 高氣流量,高抽速;集成,高效的冷卻系統
  • pfeiffer 分子泵可以實現任意位置安裝
  • 保護級別IP 54,非常適合工業領域應用的分子泵類型
  • 可以提供適合腐蝕氣體的分子泵型號
  • 半導體S2-和ul-認證
  • 完整的配件系列擴展了分子泵安裝的各種可能性
  • 我們給您提供更長的分子泵維修間隔
  • 我們可以提供現場更換分子泵軸承
     

客戶案例:
深圳某高科為全球最熱門的蘋果公司提供手機顯示屏,pfeiffer分子泵因其優秀性能應用在某高科的ITO生產線中,伯東公司作為德國普發pfeiffer真空設備中國區銷售公司,提供完善的售前,售后服務并得到客戶一致的好評。

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