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分子泵蒸發鍍膜,電子束蒸發鍍膜設備應用
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分子泵蒸發鍍膜,電子束蒸發鍍膜設備應用

應用七:德國普發 Pfeiffer 分子泵 蒸發鍍膜設備應用
上海伯東近日成功銷售 pfeiffer 分子泵于無錫某柴油機噴油針閥生產商。

蒸發鍍膜過程中,從膜材表面蒸發的粒子以一定的速度在空間沿直線運動,直到與其他粒子碰撞為止。在真空室內,當氣相中的粒子濃度和殘余氣體的壓力足夠低時,這些粒子從蒸發源到基片之間可以保持直線飛行,否則,就會產生碰撞而改變運動方向。為此,增加殘余氣體的平均自由程,以減少其與蒸發粒子的碰撞幾率,把真空室內抽成高真空是必要的。當真空容器內蒸發粒子的平均自由程大于蒸發源與基片的距離時,就會獲得充分的真空條件。蒸發粒子的平均自由程必須遠遠大于蒸距才能避免蒸發粒子在向基片遷移過程中與殘余氣體分子發生碰撞,從而有效地減少蒸發粒子的散射現象。目前常用的蒸發鍍膜機的蒸距均不大于50 cm。

因此,如果要防止蒸發粒子的大量散射,在真空蒸發鍍膜設備中,真空鍍膜室的起始真空度要求較高的情況下真空系統的抽氣能力和其在不同真空度條件下的穩定性就成了影響鍍膜質量的關鍵因素之一,分子泵組逐漸取代了擴散泵組成為最普遍的真空系統,而德國普發 Pfeiffer 作為全世界第一臺分子泵的發明者,所生產的分子泵以其優越的性能和品質一直在是世界真空舞臺中獨領風騷。
 

客戶案例:無錫某柴油機噴油針閥生產商,乃全世界柴油制造的領軍者,伯東公司作為德國普發 pffeifer分子泵的代理商以卓越的服務贏得客戶的好評。


應用八:伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

上海伯東德國 Pfeiffer 分子泵成功應用于電子束蒸發鍍膜系統電子束蒸發是真空蒸鍍的一種方式,它是在鎢絲蒸發的基礎上發展起來。電子束是一種高速的電子流。電子束蒸發是目前真空鍍膜技術中一種成熟且主要的鍍膜方法,它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題。

電子束蒸發法是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發材料,使蒸發材料氣化并向基板輸運,在基底上凝結形成薄膜的方法。常見于半導體科研工業領域。利用加速后的電子能量打擊材料標靶,使材料標靶蒸發升騰。最終沉積到目標上。伯東Pfeiffer渦輪分子泵憑借超長使用時間,清潔無油,易維護等優點成功應用于電子束蒸發鍍膜系統。電子束蒸發廣泛應用于家電電器、鐘表、燈具、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層。

上海伯東客戶案例:某大學微電子學系 電子束蒸發鍍膜系統
1.系統功能:生長半導體材料,金屬膜,Mn氧化物膜。
2.真空度要求:5x10-7 mbar
3.基片尺寸:≤Ф12英寸    
4.電子槍功率:5-10KW
5.襯底溫度:350℃          
6.溫度均勻性:±10℃       
7.樣平臺轉速:≤20r/min    
8.坩堝數量:4 
9.鍍膜均勻性:±5%(Al)  
10.控制系統:PC+PLC全自動控制
電子束蒸發鍍膜系統配置上海伯東 Pfeiffer 分子泵:
1.分子泵 Hipace 2300*2
2.真空計 PKR 251*2+TPG 261*2
伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

伯東Pfeiffer分子泵應用于電子束蒸發鍍膜系統

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