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HVA 矩形板閥 28200&88200 系列
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HVA 矩形板閥 28200&88200 系列

28200&88200系列矩形真空板閥

28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關系統,起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小,設計緊湊,可靠應用于生產線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(handling system),傳輸系統(handling system)與工藝腔室(process chamber)等等,需要分隔真空壓力的地方。

 

28200&88200系列矩形真空板閥產品特點

1. 超百萬次可靠運行壽命

2. 不產生粉末,顆粒,防塵設計

3. 閥動作平穩,振動和沖擊小

4. 標準接口,或按客戶要求定制

5. 閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理

6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

 

28200&88200系列矩形真空板閥技術參數

連接形式:

標準或定制法蘭

主體材料:

304 不銹鋼/ AM-350

公稱通徑:

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

壓力范圍: 

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《150℃

適用介質:

水、蒸汽、空氣

密封形式:

軟密封型

驅動方式:

氣動

使用壽命:

1000000 啟閉次數

 

28200&88200系列矩形真空板閥訂貨號及2D & 3D 圖

DN

Model

 

 

mm

inch

Number

J (Bolted Body)

K (Clamped Body)

32 x 220

1.26 x 8.74

28212-0109RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

32 x 332

1.26 x 13.07

28212-0113RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

46 x 236

1.81 x 9.29

28212-0209RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

50 x 336

1.97 x 13.23

28212-0213RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

 

28200&88200系列矩形真空板閥部件圖

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